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知名企业多晶硅生产制造车间-电子级洁净车间

Thu Apr 21 15:47:33 CST 2022
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深入了解江苏某知名企业的多晶硅生产还原车间(一线电子级洁净车间),透过1号小窗口的还原炉,可以清晰的看见炉火正旺,多晶硅棒正在成型中...


据现场技术人员讲述,还原炉内温度一般为1050℃,从投料到硅棒出炉需要125个小时,这个车间每炉产量可达1吨。旁边1号还原炉,两名“全副武装”的工作人员正在清理炉子,为下一炉多晶硅生成和出炉紧张有序地准备着。


电子级多晶硅是一种高纯的硅材料,因其纯度要求达到11N以上,因此要比光伏级多晶硅纯度至少提高2-3个数量级,两者之间存在显著的品质差异。突破电子级多晶硅核心技术,关键还是技术创新,优化改进生产技术和质量控制技术,在产品生产制造、装置稳定运行等各环节的过程控制上做到精益求精,并通过成百上千次的科学实验,才能生产出合格、适销对路的电子级多晶硅产品,实现电子级多晶硅国产化的战略目标。


人员需要经过换装、除尘等程序,通过多道风淋门才能进入不同等级的无尘室。事关产品品质,生产高纯度多晶硅材料,对环境要求极其苛刻。环境越洁净,测试出来的电子产品能达到的精密度也就越高。


在这个面积1543平方米的检测中心,配备了区熔单晶炉(FZ-100),低温红外光谱仪,气相色谱质谱联用仪,少数载流子寿命测试仪等设备50多台(套),80%为国外先进设备,核心检测设备属国内首台,设备总投资达4000多万元。


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