测试车间

半导体领域洁净车间测试解决方案

       洁净室（Cleanroom）：空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应尽可能的减少室内滞留颗粒物。室内其它有关参数如温度、湿度、压力、静电、振动、噪声等按要求进行控制。——摘自GB50073-2013《洁净厂房设计规范》实施日期2013年9月1日。

       为什么需要洁净室：由于半导体工业所制作的集成电路元件尺寸越来越小，在一块小小的芯片上，整合了许许多多的元器件，因此在制造的过程中就必须防止外界杂质污染源(包括尘埃、金属离子、各类有机物等)，因为这些污染源可以造成元器件性能的劣化及产品成品率和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁净的环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。

       通常通过服装，MAU，FFU及入口的风淋室等控制手段，可有效控制颗粒物的产生

1、AMC控制

       通常AMC系统包括，AMC过滤系统及AMC气体品质监控系统两部分组成，分别起到过滤和确认效果的作用

2、照度测试

       实时空气品质监测系统对半导体业界而言，并不陌生。现行模式大都以定点式监测器为主流，分布的范围以正压供气端如气瓶柜、气体分流配置箱，以及特殊毒性气体机台通风橱柜等。

       除此之外，厂内空气流向同样是监测器布点与泄漏搜寻时，相当重要的参考依据。比方说，外气入口在空调层的洁净室，其空气流向通常如下图所示，subfab区域受洁净室作业影响最大，空调层受外气影响较大。因此，在进气口位置与subfab区域架设气体监测器，可有效厘清洁净室内空气污染与外气之间的关连性。再者，对于Fab与subfab间有回风区夹层的工厂，直接在制程区下方架设之气体监测器，可立即反应制程区作业所造成的污染。而对于无回风区夹层的洁净室，架设在Subfab区两侧之气体监测器，可分区监测不同回风流场所代表的空气品质状况。因此，依据工厂的空调流场设计、监测目标，选择适用之监测位置与气体监测工具。

4、因文章篇幅原因不做更多详细阐述，如您需要了解更多，请联系合洁科技洁净工程公司