半导体晶圆硅片洁净车间设计规范
Thu Jan 09 10:53:59 CST 2025
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半导体晶圆硅片的生产过程中,对环境的洁净度、温湿度、防微振等均有严格的控制要求。洁净车间作为半导体生产的核心区域,其设计规范直接关系到产品的质量和生产效率。合洁...
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