洁净级别:百级、千级、10万级
建筑面积:8300平方米
项目地址:深圳
芯片净化工程在建设时,做好防微振体系是能减弱环境振动影响,保证精密设备、仪器正常运行的。那么如何做好防微振施工呢?今天合洁科技电子净化工程就为大家讲解下吧!
一、施工工艺流程
隔振池底板、挡土墙(侧壁)施工→气浮平台施工→空气弹簧安装→台体起浮→隔振池内装饰→设备就位→空气弹簧二次调试→面层装饰及验收。
二、技术特点
1、防微振性能好气浮平台最重要的功能之一就是防微振,其用航天特殊材料制成的空气弹筆隔振器,多组集成可以顶起上百吨重的混凝土T形台(气浮平台)及其上部安装的横拟直空试验罐体,使其完全不接触任何可以传递震动波的固体,从而达到防振效里
2、绝对水平可通过计算机控制各个空气弹簧隔振器,调节气浮平台角度,使台体平整度误差<1mm,从而满足航天试验要求。
3、环境高洁净度配合洁净金属壁板施工、防静电环氧自流平地面施工及空调净化系统,形成一种高洁净度的察闭空间,为航天科研试验提供良好环培
4、施工工艺科技含量高为保证气浮平台的施工质量,施工开始便采用计算机控制,精度控制采用《固定式标高精确控制器》控制;混凝土测温、降温系统采用全数字化计算机监控系统,保证混凝土施工质量;空气弹簧隔振器及台体旋转均采用计算机控制,能够准确控制旋转角度及定位。
三、施工前准备工作
1、现场环境评估
在施工前,需要对工程现场的环境进行评估,包括地基状况、周边建筑物和设备的振动情况等。通过评估,可以对施工方案进行调整和优化,从而减少施工过程中的振动影响。
2、施工过程控制
在具体的施工过程中,需要采取一系列措施来控制振动影响。比如,采用减震材料和减震器,调整施工顺序等。此外,还需要对施工人员进行培训,提高他们的安全意识和施工技能。
3、监测和评估
在施工结束后,需要对设备的精度和稳定性进行监测和评估。如果发现问题,需要及时进行调整和修复。
结尾:
芯片净化工程中,防微振施工是一个非常重要的环节。只有做好防微振施工,才能保证工程的质量和效益。因此,我们需要加强对防微振施工的认识和重视,不断优化施工方案和措施,为工程的稳健发展提供强有力的保障。