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芯片洁净车间压差是如何控制的?

Wed Nov 15 11:08:36 CST 2023
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  压差是芯片洁净车间内的一项很重要的参数,压差不对,洁净车间就废了一半。那么芯片洁净车间压差到底是什么?压差怎么控制呢?今天就随合洁科技电子洁净工程公司一起来了解下吧!

  芯片洁净车间的压差就是洁净室与周围空间所必须维持的静压差。使厂房外环境与洁净室之间、洁净度不同的洁净室之间或洁净室与一般房间之间保持适当的压差值,目的是为了保证芯片洁净车间在正常工作或空气平衡暂时受到破坏时,芯片洁净车间的洁净度免受邻室的污染或污染邻室。

  芯片洁净车间与邻室维持正的静压差(简称正压)是较为常见的情况。芯片洁净车间是采用维持正压,使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室、生产致敏性药物、高活性药物的生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负的静压差(简称负压)。


芯片洁净车间


  那么,如何控制芯片洁净车间内的正压压差呢?主要可以通过回风口控制、余压阀控制、调节回风阀或排风阀、差压变送器控制以及调节新风阀等方式来控制和调整洁净室内的正压差。其原理是通过控制送风量、回风量和排风量来控制压差。

  回风口控制。通过回风口上的百叶可调格栅或阻尼层改变其阻力来调整回风量,达到控制室内压力的目的。特点是结构比较简单、经济,格栅控制调节量方便。但格栅不易关死,且调节幅度不大,会对气流方向产生影响。

  余压阀控制。通过手动或自动调整余压阀上的平衡压块,改变压阀的阀门开度,实现室内的压力控制。余压阀一般设在洁净室下风侧墙上。余压阀安装简单。

  压差控制是防止将污染带进或带出洁净室的重要措施。当需要的压差值太大,不容易办到时,就要加设辅助设施。常见的缓冲设施气闸室、缓冲室、空气吹淋室、传递窗等。

  在设计和运行芯片洁净车间时,需要严格遵守相关的洁净度等级要求和标准,如ISO 14644洁净室标准。此外,需要找专业的净化工程公司进行综合规划和设计,并确保定期进行维护和校准,以保持洁净车间的良好运行状态和压差控制。合洁科技电子洁净工程公司就是一家不错的电子净化工程建设公司,专注电子净化工程22年,拥有一级建筑资质和专业设计施工团队,上千案例,值得信赖!

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