半导体洁净厂房装修建筑布局设计

　　合洁科技电子净化工程公司介绍说，半导体洁净厂房装修要根据实践的出产流程设定相应的功能间，需要考虑人员物流的走向和作业效率，在平面计划初步断定的基础上，再断定洁净区与非洁净区，洁净区的洁净等级;然后断定相应的换气次数或是截面风速;然后安置送回风口，规划洁净送风机组(大小、方位、风机空调选型等)，规划送回新风管道等。

　　半导体洁净厂房装修的平面布局，一般包括无尘区、准无尘区和辅佐区三部分。平面安置能够有以下几种方法:外廊盘绕式，外廊能够有窗和无窗，兼作观赏和放置一些设备用，有的在外廊内设直勤采暖。外窗有必要是双层密封窗。内廊式，车间设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的无尘度等级一般都较高，乃至和无尘车间同级。两头式，无尘区设在一边，另一边设准无尘和辅佐用房。中心式，为了节省用地、缩短管线，能够无尘区为中心，上下左右被各种辅佐用房和荫蔽管道的空间包围起来，这种方法避开室外气候对无尘区的影响，削减了冷热能耗，利于节能。

　　为了在操作中尽量削减人活动发生的污染，人员在进入无尘区之前，有必要替换无尘服并洗手、消菌、过风淋，这些措施即人员净化。人员净化用房中替换无尘服的房间应予送风，并对进口侧等其他房间坚持正压，对厕所、淋浴坚持少量正压，而厕所、淋浴应坚持负压。物料净化道路，各种物件在送入无尘区前有必要通过净化处理，物料净化道路与人净道路应分隔，如果物料与人员只能在同一处进入半导体洁净厂房，也有必要分门而入，物料先通过粗净化处理。

　　关于出产流水线不强的场合在物料道路中心可设中心库，如果出产流水线很强，则选用直通式物料道路，有时还需在直通道路中心设传递设备。

　　在体系规划上，物净用房的粗净化和精净化阶段由于会吹落很多生微粒，所以相对无尘区应坚持负压或零压，如果污染性大则对进口方向也要坚持负压。无尘车间的管线十分复杂，所以对这些管线均选用隐蔽组织方法;详细隐蔽组织方法有以下几种。技能夹层，顶部技能夹层，在这种夹层内一般因送、回风管的断面大，故作为夹层内首要考虑的目标。一般将其组织在夹层的上方其下组织电气管线。当这种夹层的底板可接受必定分量时，能够在上面设置过滤器及排风设备等。

　　房间技能夹层，这种方法和顶部夹层比较，能够削减夹层的布线与高度，能够省去回风管道返回上夹层所需的技能夹道，夹道内还可设回风机动力设备配电等，车间的上夹道能够兼做上一层的下夹道。技能夹道(墙)，上下夹层内的水平管线一般都要转向为竖向管线，这此竖向管线地点的荫蔽空间即技能夹道。

　　这类技能夹道(墙)由于大多选用轻质间隔，所以当工艺调整时，可方便地进行调整。技能竖井，如果说技能夹道(墙)往往不越层，则需求越层时即用技能竖井，而且常常作为修建结构的一部分。

　　由于技能竖井把各层勾结起来，为了防火内部管线安装完成后，要在层间用耐火极限不低于楼板，检修作业分层进行，检修门有必要设防火门。不管技能夹层，技能夹道还是技能竖井，当直接兼作风道时，其内外表有必要按无尘车间的内外表的要求处理。