半导体集成电路如何设计洁净厂房

　　集成电路制造业是一个在超净化环境中，使用超纯材料进行超微细加工的产业，所以洁净技术在半导体集成电路行业应用也是很广的。今天就随合洁科技电子净化工程公司一起来了解下半导体集成电路的洁净技术的应用吧!

　　1、集成电路生产中主要污染物的来源

　　集成电路生产中的这些主要污染物可能来源于空气 、水、各种气体、化学试剂 、工作环境、电磁环境噪声以及微振动、操作人员、使用的工具、器具等。

　　2、集成电路生产中的洁净环境

　　实现集成电路洁净生产，主要包括如下几方面内容：集成电路洁净厂房设计与施工、操作环境与操作人员管理、高纯气体与纯化、高纯化学试剂与稀释、超纯水系统、硅片与工器具清洗等。在长期的实践中，对于不同的加工线宽所需要的洁净生产环境，如空气洁净度、化学试剂、高纯气体、超纯水等，许多国家和地区都颁布了相关的标准。而操作环境与操作人员管理、硅片与工器具清洗方面，各厂家也都有严格的规范和操作程序，以保证集成电路产品的成品率、产品的性能和产品的可靠性。

　　洁净厂房的主要指标有：空气中粒子粒径和粒子数目、洁净室的压力、温湿度、风速与换气率、

　　照度等。集成电路生产环境所控制的粒子粒径，一般为图形线宽的 1/10-1/5。如1微米线宽的集成电路，所需控制的粒子粒径为0.1—0.2微米。

　　3、集成电路生产过程中的洁净技术

　　集成电路生产中，在洁净室、操作环境的净化级别以及生产所使用的材料、化学试剂、高纯气体、超纯水纯度都符合要求的情况下，操作环境的科学管理以及大量的清洗就成为日常最为重要的工作。集成电路洁净室的污染来源，经测试分析表明，来自操作人员的约占80%，通风占 15%，厂房建筑 占5%，所以应特别加强对于操作人员的管理。

　　具体措施有：一是要加强对操作人员的教育与训练，二是进入洁净室的人员必须达到洁净度标准、进入洁净室人员的数目保持最少限度 ，三是操作人员在洁净室的行为要符合规范 ，如保持自己各方面 的干净和清洁，与工作无关的私人谈话应尽量避免，工器具须放在箱子或柜子中，并放置于一定的场所等。

　　至于为减少通风与厂房建筑方面造成的污染而应采取的措施有：一是防止外部尘埃侵入，二是室内不形成尘埃的沉积，三是防止室内尘埃扬起，四是一旦尘埃扬起，能尽快地排除。