晶圆无尘车间空调通风系统设计需满足哪些条件

　　现如今，许多工厂为了能够把产品的质量发展到最大化，都建造了无尘车间来满足产品生需求产，但设计一个晶圆无尘车间不是简单的事情。今天合洁科技电子净化工程小编就为大家介绍晶圆无尘车间空调通风系统设计需满足哪些条件吧!

　　晶圆无尘车间空调通风系统设计一般要满足以下几方面的条件：

　　1、给予晶圆无尘车间足量的洁净空气的稀释、去除在生产时和人员所污染的空气，使车间的尘、菌达到规定的要求。

　　2、带走晶圆无尘车间的余热、余湿，或补给车间所需的热量、湿量，以维持晶圆无尘车间的设计温度、湿度。这一点和其它空调系统是一致的，仍然是其主要任务之一。

　　3、供给晶圆无尘车间充足的室外新鲜空气，使车间的空气品质，符合人们正常工作所需的卫生标准。

　　4、补给足够量的清洁空气稀释车间的有害物浓度，如工艺过程中散发的易燃、易爆有机溶剂和有害气体，以确保车间空气中的有害物浓度低于相关标准所规定的最高容许浓度。

　　5、根据工艺要求，通过送、回、排风量的不同匹配，以维持车间相对于室外或邻室，或走道一定的正压值或负压值。以控制相邻空间气流或污染物的流向。

　　6、采取相应的隔离、局部排风等措施，防止工艺产生的粉尘、大量余热、余湿等有害物在车间扩散。

　　7、设置必要的分离、收集装置，既防止由车间排出去的有害物质污染大气，又可回收部分排风带走的可利用药尘。

　　在设计晶圆无尘车间空调通风系统时，需要综合考虑以上条件，确保系统能够有效地满足晶圆生产的要求，提高生产效率，保障产品质量。建议在设计阶段与专业的空气处理工程师或公司合作，以确保系统设计符合标准和要求。