集成电路净化工程设计案例

　　集成电路净化工程设计案例：一般要采用FFU净化系统因为具有灵活性，可适应工艺变化，当工艺发展需要提高空气洁净度级别时，采取增加FFU数量或更换更高效率的过滤器就可达到提高洁净度等级的目的。FFU采用负压密封使其简化而可靠，也就是说，洁净区内的空气压力大于送风静压箱内的空气压力，这就极大地降低了尘埃微粒通过缝隙进入洁净室的几率。此外，采取这种方式也可大大节省空调机房的面积。今天就随合洁科技电子洁净工程公司一起来了解下集成电路净化工程应该怎么设计装修吧!

　　项目背景：

　　一家电子厂计划建设一座洁净室用于集成电路生产，要求洁净室内空气质量高，能够达到特定的洁净度等级，以确保生产过程中的产品质量和稳定性。

　　设计要求：

　　1、洁净度等级：要求达到ISO 14644标准中的特定洁净度等级，如ISO 7级。

　　2、空气流量：根据洁净室的大小和用途确定合适的空气流量，确保空气的循环和净化效果。

　　3、空气循环设计：设计合理的空气循环系统，包括净化空调系统、出风口、回风口、排风口和新风口的设置。

　　4、温湿度控制：确保洁净室内温湿度稳定，适合集成电路生产的要求。

　　5、静电控制：考虑静电对集成电路生产的影响，设计静电控制措施，如地板材料选择、静电消除设备等。

　　6、设备维护：设计易于维护和清洁的设备和设施，保证洁净室长期稳定运行。

　　设计方案：

　　1、空调系统：选择高效的净化空调系统，包括过滤器、风道、送风口和回风口，确保空气净化效果和空气流动均匀。

　　2、空气过滤：设置多级过滤系统，包括初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器，以去除空气中的颗粒物和微生物。

　　3、空气循环：合理设置出风口、回风口、排风口和新风口，保证空气循环和净化效果，避免死角和死区。

　　4、温湿度控制：安装恒温恒湿设备，监控和调节洁净室内的温湿度，确保生产环境稳定。

　　5、静电控制：选择防静电地板、静电消除设备等措施，减少静电对集成电路生产的影响。

　　6、 暖通工程 ：采用新风集中处理机组(MAU)+风机过滤单元(FFU)+干式冷盘管(DDC)的方式，其空气处理过程为：循环风经设置在一层的干式冷却盘管冷却后，进入上部送风静压箱，与处理后的新风混合，经FFU加压、过滤后送入生产区。

　　结果与效益：

　　通过以上设计方案的实施，集成电路净化车间可以达到预期的洁净度等级要求，确保集成电路生产过程中的空气质量和生产环境稳定性，提高产品质量和生产效率，降低生产过程中的污染风险，为电子厂的生产提供良好的生产环境和条件。