百级半导体净化车间安装与调试方法

　　百级半导体净化车间的安装与调试是一个复杂且精细的过程，涉及多个系统和环节。以下是合洁科技电子净化工程公司根据当前信息整理的安装与调试方法：

　　安装方法

　　1、前期准备

　　勘察与规划：工作人员需上门勘察，测量数据，与建设单位交流，了解生产工艺，遵照GMP等相关要求进行详细的施工程序规划。

　　材料准备：准备施工材料，如保温围板、铝合金材料(U型槽铝、吊顶T型铝等)、FFU、高效过滤器、洁净工作台、洁净风柜、灯具、五金交电等。

　　2、基础施工

　　墙面与吊顶：进行墙面和吊顶的施工，确保密封性和平整度，使用符合无尘车间要求的材料。

　　门窗安装：安装洁净门和传递窗，确保门框和门扇的密封性，符合防静电要求。

　　3、系统安装

　　FFU及高效过滤器安装：

　　小心取出高效过滤器，检查是否有损坏。

　　将FFU及高效过滤器安装在吊顶龙骨上，注意轻拿轻放，避免触碰过滤器表面。

　　对齐龙骨四边平行放下过滤器，注意风向，出风面应朝下。

　　将FFU箱体对齐过滤器四周放下，根据厂家提供的电路图和电气规章连接电源。

　　风管系统安装：进行风管保温和安装，确保密封性和风量分配。

　　其他系统安装：包括高纯水系统、高纯气体系统、真空系统、化学品供应系统、排风和排气系统、消防系统、电气系统等。

　　4、地面处理

　　选择合适的地坪漆进行地面涂装，确保防尘、耐磨、易清洁。

　　调试方法

　　1、空气净化系统调试

　　检查空气净化设备的运行状态，确保无异常噪音和振动。

　　使用尘埃粒子计数器检测车间内不同区域的尘埃粒子浓度，确保达到预定的洁净度标准(百级)。

　　调节风量、风速和风向，确保空气流通均匀，无死角。

　　2、温湿度控制调试

　　确保温湿度控制设备正常运行，根据生产需求设定合适的温湿度范围。

　　对温湿度传感器进行校准，确保检测数据的准确性。

　　测试车间内的温湿度分布，确保分布均匀。

　　3、静电防护系统调试

　　检查静电防护设备的运行状态，确保其正常工作。

　　测试车间内的静电场强度，确保控制在安全范围内。

　　测试静电防护设备的接地电阻，确保符合标准要求。

　　4、照明系统调试

　　检查照明设备的运行状态，确保各灯具正常工作，无损坏或故障。

　　测试车间内的光照度，确保满足生产需求，避免过强或过弱的光照对工作人员造成不适。

　　5、辅助系统调试

　　对给排水系统、消防系统、通风系统等辅助系统进行逐一检查和测试，确保其正常运行并满足生产需求。

　　6、整体运行测试

　　模拟实际生产环境，检查无尘车间内的各项指标是否满足生产需求。

　　对环境参数进行连续监测和记录，以便及时发现和解决问题。

　　7、人员培训

　　对工作人员进行培训和指导，确保他们能够熟练掌握无尘车间的使用和维护方法。

　　通过以上安装与调试方法，可以确保百级半导体净化车间达到预定的洁净度和生产要求，为半导体产品的生产提供有力保障。