百级芯片洁净车间的换风系统怎么排风

　　百级芯片洁净车间的换风系统排风设计是确保车间内空气质量、维持洁净度等级的重要环节。以下是合洁科技电子净化工程公司关于百级芯片洁净车间换风系统排风设计的详细说明：

　　一、排风系统设计原则

　　1、遵循规范：排风系统的设计需要严格遵循相关的国家标准和行业标准，如《洁净厂房设计规范》GB50073-2013等。

　　2、工艺需求：深入了解芯片生产工艺，熟悉产尘、产热的特点，制订出有效的捕尘、排气(热)方案，确保不影响生产工艺操作。

　　3、节能环保：在保证洁净度的同时，考虑系统的节能性和环保性，降低能耗和排放。

　　二、排风方式

　　百级芯片洁净车间的排风方式主要分为局部排风和全面排风两种：

　　1、局部排风：

　　定义：局部排风系统通过各种类型的排风罩、风管、净化空气设备、风机等组成，针对车间内局部工艺设备产生的有害物进行捕集和处理。

　　优点：可以有效地控制有害物的扩散，保证工作区不被污染，投资较小，经济可靠。

　　适用场景：适用于对车间内局部工艺设备产生有害物的处理和排放。

　　2、全面排风：

　　定义：全面排风又称稀释通风，通过送入足够量的经过处理的清洁新鲜空气来稀释车间内的有害物质浓度，并不断将有害物质经处理后排出室外。

　　优点：可以全面改善车间内的空气质量，适用于局部排风无法有效控制有害物质扩散的情况。

　　适用场景：当采用局部通风系统无法满足洁净度要求时，采用全面通风作为补充或替代方案。

　　三、排风系统设计要点

　　1、排风口设置：

　　排风口应设置在有害物浓度较高的区域，并避免对车间内其他区域造成污染。

　　排风口与送风口的距离应适当，以防止气流短路，一般建议保持至少3米的距离。

　　2、风管布置：

　　风管布置应尽量减少局部阻力，如弯管、三通、变径等数量应尽可能少。

　　弯管的中心曲率半径不应小于风管直径或边长的1.25倍。

　　风管分支点前后应预留测压孔，以便于系统调试和后续维护。

　　3、排风设备：

　　根据车间面积、换气次数和有害物浓度等参数，选择合适的排风设备和净化设备。

　　排风设备应具有高效、低噪、易维护等特点，以确保系统长期稳定运行。

　　4、系统控制：

　　采用自动化控制系统对排风系统进行监控和调节，以确保系统始终处于最佳运行状态。

　　可以通过设置风量调节阀、压力传感器等装置，实现系统风量的精确控制和调节。

　　四、注意事项

　　1、防止交叉污染：在排风系统设计时，应防止不同介质之间的交叉污染，确保系统的安全性和可靠性。

　　2、考虑环保要求：排风系统应满足当地环保部门的要求，对排放的有害物质进行处理和达标排放。

　　3、系统维护：定期对排风系统进行清洗、检查和维护，确保系统的高效运行和延长使用寿命。

　　综上所述，百级芯片洁净车间的换风系统排风设计需要综合考虑生产工艺需求、洁净度要求、节能环保等因素，采用科学合理的排风方式和设计要点，确保车间内空气质量的稳定和达标。