半导体洁净厂房的隔震措施和方法

　　半导体洁净厂房的隔震措施和方法至关重要，它们对于确保生产设备的稳定性、提高产品良率以及减少振动对半导体的损伤具有重要意义，以下是合洁科技电子净化工程公司一些关键的隔震措施和方法：

　　一、结构楼板减振

　　1、现浇开洞混凝土楼板：采用现浇开洞混凝土楼板，结合半导体厂房洁净室的特点来选择具体方案，以减少洁净室楼板的振动。

　　2、预制楼板：按规定采用预制楼板，也是减少楼板振动的一种有效方式。但需注意，预制楼板需要在楼板上再做一层叠合层来保证楼板平整度，且抗震度需经过验证。

　　二、设备减振

　　1、气浮式隔振器：对于动力工程的转动式机械设备(如水泵、空调机、冰水机、风机等)，安装气浮式隔振器，如昆山贝尔金BK-PA气浮减振器、VC-C抗微震平台等，以降低振动对设备本身和周围环境的影响。

　　2、减振基座和减振器：对于晶圆磨床、切片机、化学机、真空设备和光刻机等关键设备，使用具有良好防震性能的基座和减振器，以确保加工精度和设备的稳定运行。

　　三、管路系统减振

　　1、减振器应用：水管、风管等在运行过程中会产生震动，特别是对于公用管架系统，采用减振器来降低或消除震动的传递，防止震动传递到井格梁和架空地板上，从而避免影响厂房生产设备的运行状态。

　　2、柔性套管封堵：风管、管道穿土建墙体、金属墙板、吊顶时，在穿越处采用柔性套管进行封堵，以避免风管、管道的震动造成墙体、墙板、吊顶的震动。

　　四、地板隔振设计

　　1、隔振地板或悬浮地板：采用隔振地板或悬浮地板的方式设计车间地板，以有效隔离地面振动。这种设计不仅能减少振动对设备的影响，还能提高车间的整体洁净度。

　　2、架空地板系统减震：在架空地板系统中，可以采取在POST顶端与地板块之间垫胶皮等措施来降低震动传递。

　　五、振动监测与调整

　　1、振动传感器和监测系统：在施工和运营阶段，使用振动传感器和监测系统对洁净厂房的振动进行实时监测。

　　2、调整和改进措施：根据监测结果，及时采取必要的调整和改进措施，确保振动控制在合理范围内。

　　综上所述，半导体洁净厂房的隔震措施和方法包括结构楼板减振、设备减振、管路系统减振、地板隔振设计以及振动监测与调整等多个方面。这些措施和方法的实施需要综合考虑厂房的实际情况和具体需求，以确保达到最佳的隔震效果。