
洁净级别:百级、千级、10万级
建筑面积:8300平方米
项目地址:深圳
近日,合景智慧建设(广东)有限公司子品牌合洁科技净化工程公司(以下简称“合洁科技”)正着力建设华南某高端半导体芯片厂房EPC总包项目,其核心10级(ISO 1级)洁净室以近乎“外科手术级”的环境控制标准,成为行业瞩目焦点。作为国内净化工程领域的领军企业,合洁科技通过创新技术与精细化施工,为芯片制造打造“无尘无菌”的超级工厂,助力中国半导体产业突破技术瓶颈。
一、为何芯片制造需要“10级洁净室”—— 一粒灰尘也能毁掉上亿颗芯片
在半导体芯片生产中,一颗肉眼不可见的灰尘或一粒0.1微米(相当于头发丝的千分之一)的微粒,都可能导致电路短路或性能缺陷。随着芯片制程进入3纳米时代,生产环境要求近乎“变态”:
空气洁净度:10级洁净室要求每立方米空气中≥0.1微米的微粒不超过10个,相当于普通医院手术室洁净度的千分之一。
温湿度稳定性:光刻机工作时,温度波动超过±0.1℃或湿度偏差超过±1%,就会导致光刻胶变形,直接降低芯片良品率。
静电与分子污染防控:人体行走产生的静电足以击穿纳米级电路,而空气中微量的化学气体(如氨气)会腐蚀晶圆表面。
合洁科技通过三大核心技术,将理论标准转化为可落地的工业实践。
二、从“钢筋水泥”到“纳米级洁净”:合洁如何打造芯片制造的“无菌室”
1. 空气净化:像筛面粉一样过滤每一粒尘埃
层层拦截:采用“初效+中效+超高效”三级过滤系统,其中天花板满布超高效过滤器(过滤效率99.9995%),相当于用“分子筛”拦截比PM2.5小500倍的微粒。
气流控制:通过计算机模拟设计单向层流,让空气像“瀑布”般均匀向下流动,确保无死角净化,风速偏差控制在±20%以内。
2. 环境稳定:比恒温箱更精准的“气候控制”
双冷源除湿:针对南方高湿环境,采用预冷+深度冷却组合技术,将空气露点温度降至-10℃以下,湿度波动控制在±1%以内。
智能调控:依托自研控制系统,实时监测500多项环境参数,自动调节空调、加湿设备,温度精度达±0.1℃,堪比实验室级恒温箱。
3. 防污染设计:从地面到管道的“全副武装”
防静电地面:采用特殊环氧涂层,电阻值精准控制在百万至十亿欧姆之间,确保静电瞬间导出。
气体管道“零泄漏”:高纯气体管道焊接后,用氦气检测泄漏率(小于1万亿分之一),相当于检测一个游泳池里的一滴水是否泄露。
三、20年技术积淀:从实验室到生产线的成功密码
合洁科技深耕高端制造领域20年,曾为多家行业巨头打造标杆项目:
某存储芯片大厂12英寸晶圆产线:交付10级洁净室及分子污染防控系统,良品率提升至99.99%。
某新型显示材料超级工厂:创新模块化施工技术,将工期压缩25%,成为行业“又快又好”的典范。
粤港澳大湾区某项目:集成智能运维平台,实现能耗降低30%,年省电费超千万元。
四、未来愿景:为中国芯片装上“环境引擎”
“芯片制造是万亿颗微粒的战争,洁净室就是第一道防线。”合洁科技技术总监表示,“我们不仅提供厂房构建从设计、施工到服务的全生命周期保障体系,还将从甲方成本、节能、扩展等方面深化考虑。”
此次项目的成功合作,标志着合洁科技在半导体高端制造领域再树标杆。凭借“技术+标准+经验”的三重优势,合景智慧建设(广东)有限公司正成为“中国芯”崛起背后不可或缺的隐形冠军。