
洁净级别:百级、千级、10万级
建筑面积:8300平方米
项目地址:深圳
百级电子洁净车间规划详细方案涉及多个方面,以下是合洁科技电子净化工程公司的一个综合性的分享:
一、车间规划要点
1、洁净度控制
百级洁净度标准要求每立方米空气中20.5um的颗粒物≤3,520个(对应IS05级),需通过高效过滤器(HEPA/ULPA)和FFU(风机过滤单元)来实现空气过滤,确保气流均匀分布,避免涡流或死角。
采用正压设计,防止外部污染物进入洁净区。
2、功能区划分
清洗区、包装区、物料暂存区、人员更衣区需严格分区,避免交叉污染。
人流与物流分离:
人员流程:入口→换鞋一更衣(普通一洁净服)一风淋室一洁净区。
物料流程:入口一粗清洁一传递窗一洁净区一包装一成品出口。
3、温湿度与静电控制
温度控制在22+2℃℃,湿度55%+5%,需配备恒温恒湿空调系统。
防静电措施:采用防静电地板、工作台、离子风机等,减少静电对零部件的损伤。
4.建筑与材料选择
墙面/天花板使用彩钢板或不锈钢板,地面采用环氧自流平或防静电PVC地板,确保无尘、易清洁。
门窗需密封处理,避免缝隙积尘。
二、核心设备清单
1、空气净化系统
FFU+高效过滤器:覆盖洁净区顶棚,确保空气循环过滤效率>99.99%。
新风机组+空调系统:调节温湿度,维持正压环境。
2、清洗设备
高压喷淋清洗机:去除表面颗粒污染物。
超声波清洗机:用于精密零部件的深层清洁。
超纯水系统(RO+EDI):提供清洗用水,确保无离子残留。
3、干燥与包装设备
真空干燥箱:避免二次污染。
防静电包装机:使用防静电袋或氨气封装,保护零部件免受静电损伤。
4、辅助设备
传递窗:用于物料进出洁净区,减少开门污染。
风淋室:人员进入洁净区前的除尘通道。
环境监测系统:实时检测颗粒物、温湿度、压差等参数。
三、施工与验收流程
1、施工阶段
基础建设(地面、墙面、天花板)→安装净化设备(FFU、空调)→装修密封→设备调试。
2、验收标准
洁净度测试:使用粒子计数器检测颗粒物浓度是否符合IS05级。
压差测试:确保洁净区对非洁净区保持正压(210Pa)。
第三方认证:邀请专业机构进行洁净度等级认证。
四、预算参考
建设费用:约2000-3000元/㎡(含彩钢板、地面、密封材料)。
设备费用:FFU+高效过滤器约3000-4000元/㎡,清洗/干燥设备等。
其他费用:空调系统、监测系统、防静电设施等。
五、注意事项
人员培训:操作人员需穿戴洁净服并定期培训,避免人为污染。
维护计划:定期更换过滤器、清洁地面和设备,监测系统需每日校准。
通过以上规划,可确保生产线在百级洁净度下高效运行,满足半导体核心零部件的高标准清洗与封装需求具体实施时建议咨询专业净化工程公司(如合洁科技)进行定制化设计。