根据ISO 14644-1标准，1000级无尘车间也称为ISO 6级无尘车间，是一种受控环境，旨在保持极低的空气传播微粒水平。具体来说，它允许每立方英尺空气中不超过1,000个颗粒(颗粒≥0.5 微米)，即每立方米不超过35,200个颗粒。
颗粒浓度限制
颗粒≥0.5微米：每立方英尺1,000个颗粒(每立方米35,200个颗粒)颗粒≥ 5.0微米：每立方米293个颗粒。
气流和过滤
HEPA过滤器(高效微粒空气过滤器)：这些过滤器必须至少去除99.97%直径为0.3微米的空气颗粒。层流：通常用于确保空气以单一方向流动，减少湍流和颗粒污染的可能性。高换气率：通常每小时换气150-240次左右，以保持所需的洁净度。
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